클린룸의 설계

층류식 (수직 · 수평), 난류식, 혼류식, 터널식이 있으면, 가각의 특징 및 사용목적을 고려하여 결정합니다. 클린룸의 청정도는 제품에 요구되는 정도에 의해 결정됩니다. 청정도 레벨은 기류방식, 환기횟수,실내압력등을 충분히 검토함으로서 달성됩니다. 작업성 및 청정도를 만족시킬 수 있는 Lay-out 을 구성합니다. 먼지 발생이 많은 작업은 다른 작업과 격리하며, 사람, 물건의 출입구, 통로, Utility, 유지보수 등을 종합적으로 검토하여 합니다. 가능한 한 실내 표면을 매끄럽게 해서 기류가 흐트러지거나 먼지가 쌓이지 않는 구조로 합니다. 먼지발생이 적을 뿐만 아니라 입자가 잘 부착되지 않고 청소가 용이한 재료를 선택합니다. 작업내용에 따라 내양품성, 내습성, 내화성을 가진 래료로 사용하는 경우로 있습니다. 클린룸을 구성하는 주변장치에는 먼지제거, 압력유지에 Air Shower (대인 · 대물용) ,Pass Box (물건 입출인용), Relief Damper (실내압력조정용) 등이 있으며, 물품 무진복의 보관을 위한 Clean Stocker, Clean Locker 등이 있습니다. 따라서 각각의 기능에 대한 충분하 이해가 필요합니다. 작업자와 외부에서 반입되는 물품은 최대의 발진원입니다.무진복과 화장의 문제 등을 포함하여 작업자는 클린룸화에 대한 기본지식이 필요합니다. 급배수, 가스 전기 등 에너지 공급을 위한 장치는 기류방식, Lay-out 의 Flexbility를 고려하여 결정하여야 합니다. 또 유지보수시에는 청정도 저하를 초래하지 않도록 주의할 필요가 있습니다. 클린룸은 밀폐구조이므로 화재, 가스누설 등에 대한 최대대책이 필요합니다. 또 정전에 의해 문제가 발생할 수 있는 장비에 대해서는 비상전원설비를 갖추는 것을 검토할 필요가 있습니다. Air Flow 수직층류방식 Vertical Laminar Airflow 수평층류방식 Horizontal Laminar Airflow 난류방식 Turbulent Airflow 클린튜브방식 Clean Tube 클린터널방식 Clean Tunnel Cleanliness Level Class 1~100 Class 100 Class 1,000~100,000 Class 1 Class 1~100 Cleanliness Level in Operation 작업자로부터 영향은 적다 상류발진이 하류에 영향을 미친다. 작업자로부터 영향은 있음 작업자로부터 영향은 없음 작업자로부터 영향이 가장 적다. Initial Cost High Middle Low Middle Middle Operating Cost High Middle Low Low Middle Modificaion Easy Difficult Easy Difficult Difficult Maintenance of Manufacturing Machinery Easy Easy Easy Difficult Easy Air Handing with Orecise Control 실 전체 제어를 위해 실내의 불균형 약간 있음 상류의 발진이 하류에 영향을 미친다. 불균형 있음 고청정도 유지 작업장마다 고정밀도 제어가능 방식