산업용 크린룸

산업용 크린룸(Industrial Clean Room)은 반도체 산업 뿐만이 아니라 정밀기기, 광학기기, 자기테이프나 사진용필름, 인스턴트 식품의 제조와 포장, 특수인쇄 등에 이르기까지 폭넓게 이용되며, 요구되는 청정도 또한 각각의 공정에 따라 상이하게 구분 됩니다. 그리고 CLEAN ROOM은 외부로부터 진애 입자등을 유입시키지 않기 위하여 시설 전체를 오염구역, 준청정구역, 청정구역으로 구성할 필요가 있습니다. 그리하여 이 구역간에는 AIR SHOWER나 PASS BOX를 통한 출입을 하여 공간과 공간사이에 공기의 유통을 막으며 각 공간에는 공기의 역류등을 방지하기 위하여 DAMPER를 사용하여 효율적인 청정도 유지를 기하여야 합니다. [ 2008 'J' ENG ] 실내 환경기류가 청정면에 배치되어 있고 HEPA FILTER 및 ULPA FILTER가 청정공기를 흡출합니다. 실내공기의 배기와 실외공기의 공급기를 효율적으로 유지시켜 줍니다. 실내 청정도는 CLASS 1~100,000 가능합니다. 조명과 작업 목적에 따라 각 형식을 채택하여 실내의 항온항습사양, 암실사양, 약품제조, 반도체산업, 전자부품, 광학산업, 항공산업 등 작업 목적에 따라 효율적인 설계에 의하여 시공을 합니다. 방식 ＼ 항목 수직층류방식 Vertical Laminar Airflow Clean Room 수평층류방식 Horizontal Laminar Airflow Clean Room 난류방식 Turbulent Airflow Clean Room 혼류방식 Mixed Airflow Clean Room 터널방식 Tunnel Clean Room 청정도 M1.5~3.5 (Class1~100) M3.5 (Class100) M4.5~6.5 Class (1,000~100,000) M4.5~6.5 Class (1,000~100,000) M1.5~3.5 (Class~100) 가동시 청정도 작업자로 부터의 영향은 적다 상류의 발진이 하류 에 영향을 끼친다 작업자로부터의 영향이 있다 레이아웃에 따라 작업자로 부터의 영향은 약간있다 작업자로 부터의 영항은 가장적다 운전비 고 중 저 중 중 Layout 변경 용이 곤란 용이 용이 곤란 제조 장치 보수 Room 내부 혹은 Return Space 부터 시행 Room 내부 혹은 Return Space 부터 시행 Room 내부 부터 시행 Room내부 혹은 Return Space 부터 시행 Return Space 부터 시행 확장성 곤란 곤란 다소 곤란 곤란 라인마다증설가능 정밀 제어 실 전체 제어 때문에 실내에서의 불균형 약간있음 상류의 발진이 하류에 영향을 끼침 불균형 있음 불균형 있음 작업부마다 고정 밀도 제어가능 방식