 | 대분류 | 중분류 | 소분류 | 비고 | 협의적
유지관리 | 청정도관리 | Clean Room 입,출 절차 관리
Filter Leak 관리
Interior(건축물)관리
Air Shower 관리
청소(Cleaning)관리 | | | 환경관리 | 온,습도 관리
차압관리
기류관리
정전기관리 etc... | | | 광의적 유지관리 | System 관리 | H.V.A.C system 장비관리 | 협의적 유지관리 포함 |
 | Room | 압력차 (mmAq) | | 청정도 Class가 다른 Clean Room | 0.5 | | Clean Room과 Clean복도 · 갱의실 | 0.5~1.0 | | Clean· 갱의실 등과 일반실 | 1.0 | | Clean Room과 일반실 | 1.5 |
 | 청정도 | 환기횟수(회/h) | | Class 100 | 200~600 | | 1,000 | 50~70 | | 10,000 | 30~40 | | 100,000 | 20~30 |
① 실외의 MAT에 신발을 털어낸다.
② 관리구역에 들어서 신발을 벗고 신발장에 넣은 후 1차 갱의를 한다
③ 일반복용 LOCKER에서 탈의를 한 후 수세를 한다.
④ 2차 갱의(Clean Room용)를 한 후 CLEAN ROOM용 신발 및 의복을 착용한다.
⑤ 마스크와 모자를 쓴 후 수세 및 DRYER를 한다.
⑥ AIR SHOWER를 한 후 CLEAN ROOM용 장갑을 착용한다.
⑦ CLEAN ROOM내로 입실한다. |
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