| ISO
class | 최대허용 입자농도(개/m2) | 0.1㎛ | 0.2㎛ | 0.3㎛ | 0.5㎛ | 1㎛ | 5㎛ | 1 | 10 | 2 | | | | | 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | | | 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | | 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | | 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | 7 | | | | 352,000 | 83,200 | 2,930 | 8 | | | | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | 9 | | | | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
| | | Class 표시 미터법영국단위 | Class 상한치 | 0.1 ㎛ | 0.2 ㎛ | 0.3 ㎛ | 0.1 ㎛ | 5 ㎛ | | 미터법 | 영국단위 | (㎡) | (ft3) | (㎡) | (ft3) | (㎡) | (ft3) | (㎡) | (ft3) | (㎡) | (ft3) | M1 |
| 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10.0 | 0.283 | | | M1.5 | 1 | 1,240 | 35.0 | 265 | 7.50 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1.00 | | | M2 |
| 3,500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | | | M2.5 | 10 | 12,400 | 350 | 2,650 | 75.0 | 1,060 | 30.0 | 363 | 10.0 | | | M3 |
| 35,000 | 991 | 7,570 | 21.4 | 3,090 | 87.5 | 1,000 | 28.3 | | | M3.5 | 100 | | | 26,500 | 750 | 10,600 | 300 | 3,530 | 100 | | | M4 |
| | | 75,700 | 2,140 | 30,900 | 8754 | 10,000 | 283 | | | M4.5 | 1000 | | | | | | | 36,300 | 1,000 | 247 | 7.00 | M5 |
| | | | | | | 100,000 | 2,830 | 618 | 17.5 | M5.5 | 10,000 | | | | | | | 353,000 | 10,000 | 2,470 | 70.0 | M6 |
| | | | | | | 1,000,000 | 28,300 | 6,180 | 175 | M6.5 | 100,000 | | | | | | | 3,530,000 | 100,000 | 24,700 | 700 | M7 |
| | | | | | | 10,000,000 | 283,000 | 61,800 | 1,750 |
| | | 입경
(㎛) | 청정도 Class 상한 농도(개/㎥) | Class1 | Class2 | Class3 | Class4 | Class5 | Class6 | Class7 | Class8 | 0.1 | 101 | 102 | 103 | 104 | 105 | (106) | (107) | (108) | 0.2 | 2 | 24 | 236 | 2360 | 23,600 | - | - | - | 0.3 | 1 | 10 | 101 | 1010 | 10,100 | 101,000 | 1,010,000 | 10,010,000 | 0.5 | (0.35) | (3.5) | 35 | 350 | 3,500 | 35,000 | 350,000 | 3,500,000 | 5.0 | - | - | - | - | 29 | 290 | 2,900 | 29,000 | 청정도
Class
입경범위 | 0.1~0.3 | 0.1~0.5 | 0.1 ~ 5.0 | 0.3 ~ 5.0 |
| | | 아래표는 주요 규격을 비교한 내용입니다. 기준입경과 단위체적이 다르기 때문에 주의가 필요합니다.
반도체 분야의 일부에서는 0.1um-ft3가 사용되고 있습니다. |
|
[ 주요 청정도 Class 규격 ]
|
| 미국연방규격 | JIS B 9920 | ISO 14544-1 | 반도체분야 | 209D | 209E | 기준입경 | 0.5㎛ 이상 | 0.1 ㎛ 이상 | 단위체적 | ft3 | ㎥ | ft3 | Class 표시 | | | 1 | ISO 1 | | | | | | 1 | | | 2 | ISO 2 | | | M1 | | | 10 | 1 | M1.5 | 3 | ISO 3 | | | M2 | | | 100 | 10 | M2.5 | 4 | ISO 4 | | | M3 | | | 1,000 | 100 | M3.5 | 5 | ISO 5 | | | M4 | | | 10,000 | 1,000 | M4.5 | 6 | ISO 6 | | | M5 | | | 100,000 | 10,000 | M5.5 | 7 | ISO 7 | | | M6 | | | | 100,000 | M6.5 | 8 | ISO 8 | | | M7 | | | | | | | ISO 9 | |
입경분포는 규격마다 다소 다르기 때문에, 횡열에서의 Class 는 완전히 일치하는 것은 아니지만 실용상
동일하게 생각해도 문제는 없음
|
| | 입자에 의한 Class 표시와 균수와의 관계는 표준치로써 미국항공우주국 규격(NASA), WHO. GMP 및 FDA의 규격이 있습니다. |
| | 청정도 Class | 공기중 부유군 (개/ft3) | 낙하균(개/ft2. week) | 100 | 0.1 | 1,200 | 10,000 | 0.5 | 6,000 | 100,000 | 2.5 | 30,000 |
|  | 등급(grade) | 입자농도 | 부유균 농도(CFU/㎡) | 0.5 ~ 5 Micron | 5 Micron | A | 3,500 | 0 | 1> | B | 3,500 | 0 | 5 | C | 350,000 | 2,000 | 100 | D | 3,500,000 | 20,000 | 500 |
| |  | | 입자농도 | 부유균 농도(개.ft3) | 중 요 구 역 | Class 100 | 0.1 | 관 리 구 역 | Class 100,000 | 2.5 |
| |  | 청정도 Class | FDA | NASA | WHO GMP | 개 / ㎡ (개/ft3) | 개 / ㎡ (개/ft3) | 개 / ㎡ | A 100 | - | - | 1 > | B 100 | 3.5 (0.1) | 3.5 (0.1) | 5 | C 10,000 | - | 18 (0.5) | 100 | D 100.000 | 88 (2.5) | 88 (2.5) | 500 |
| |  | | 209E (1992 ) | JIS B 9920 (1989 ) | ISO 14644-1 ( 1999 ) | | 측정점
10개소미만 | 측정점
10개소미만 | 연속(순차)
Samping법 | 정규의
평가방법
(96%신뢰
상하법) | 순차(연속)
Samping법 | 측정점
10개소
미만 | 측정점
10개소이상 | 순차(연속)
Samping법 | 대상
청정도
Class | Class
M1~M7이상 | ClassM2.5
(Class 10)
청정역 | Class
1~8 | Class
1~4 | Class
1~9 | Class
1~4 | 측정
점수와 산출
방법 | 2개소 이상, 각 개소당 1회 이상.
단 합계는 5개소 이상 | 6개소 이상, 각개소당 3회 이상. | 6개소이상, 각 개소당 1회 이상 2회로 평가할 수 없을때 최소 샘플링량의 3배를 흡입 | 측정개소가
1개소뿐인 경우
측정은 3회 | | 측정개소수의 산출
(1) 단일 방향류의 경우
(a),(b)의 적은폭을 선택
(a)= A/2.32 (b) = A x 64/(10M)
A는 크린구역(면적(㎥)
M은 청정도 CLASS표시
(2) 비단일 방향류의 경우
Ax 64/(10M) | 3x3m를 측정점으로 하고, 20~30m를 표준, 측정개소수가 많게 되는 경우는
그것을 넓혀도 좋다. | 측정점의 산출
A
A는, 크린룸의 면적(㎡) | 판정
방법 | 각 점의 평균치와 전체 측정점의 95%신뢰의 상하치를 산출해 그양자가 클라스의 상한치 이하일 경우, 합격이 됨 | 각점의 평균치를 산출해 클라스의 상한치 이하일 경우 합격이 됨 | 평가 선도의 함격권에 들어갔을때 합격이 됨 | 각점의 평균치와 전 측정점의 96%신뢰의 상한치를 산출해 그양자가 클라스의 상한치 이상일 경우, 합격이 됩 | 평가 선도의 합격이 들어갔을때, 합격이 됨 | 각 점의 평균치와 전 측정저의 96%신뢰의 상한치를 산출해, 그 양자가 클라스의 상하치 이하일 경우, 합격이 됨 | 각 점의 평균치를 산출해 클라스의 상한치 이하일 경우, 합격이 됨 | 평가 선도의 합격에 들어갔을때, 합격이 됨 |
| | | 항목 | 내용 | 평 균 풍 속 | 0.3 ~ 0.6 m/sec (일방향류 경우만 ) | 풍속의 분산 (흩어짐) | 평균풍속의 +20%이내 | 풍 량 | 정격의 ±20%이내( 난류형의 경우만 ) | 청 정 도 | 청정도 Class를 지정 | 절 연 저 항 | 1M 이상 | 내 전 압 | 1분간 이상이 없을 것 ( 전자부품은 제외 ) | 소 비 전 력 | 정격의 ±20 % 이내 | 조 도. 진 동 | 당사자간의 협의에 의함 | 소 음 | 65dBA 이하 ( 다수연결시는 협의에 의함) | 주 필 터 | HEPA 또는 ULPA Filter일 것 | 기 타 | Air nozzle의 유인, Filter Leak가 없을것 |
| | | 산업 | 청정도 CLASS CLEANNESS LEVEL(CLASS) | M1.5~2.5
(CLASS1~10) | M3.5
(CLASS100) | M4.5
(CLASS1,000) | M5.5
(CLASS10,000) | M6.5
(CLASS100,000) | C
R
의
이
용
공
정
과
청
정
도 | 반
도
체
공
업 | | | 결정제조 SLCON CRYSTALLIZATION | | WQFER 제조 WAFER MANUFACTURE | | 확산 DIFFUSON | | | | WAFER 처리 WAFER PROCESSING | | | 사진평판출 POTOUTHOGRAPHY | | | | IC CHIP 제조 IC CHIP MANUFACTURE | | | | | 조립 ASSEMBLY | | 검사 INSPECTION |
| 액
정 | | 기판세정 SUFFACE CLEANING | | | 사진평판술 POTOUTHOGRAPHY | | | | COLOR FILTER | | | | | 조립 ASSEMBLY |
| 전
자
기
기 | | MAGNETIC DRAM TAPE | | | | SHADOW MASK | | | 고신회관 | HIGH RELIARELE TUBE | |
| 정
밀
기
계 | | | | | | | | PARTS FOR ROCKET | | | | WATCH, METER, BEARING 시계.계기.BEANING |
| 광
학
.
인
쇄 | | LENS | | LSI MASK | | | | | PRINT CIRCUIT BOARD | | | FILM | | | 정밀인쇄 PRECISION PRINT |
| 기
타 | | 무진폭의 세탁 LAUNDRY FOR GARMENTS | Laser발생기 LASER GENERATOR | | |
| B
C
R | 의
학 | | 특수수술 SPECIAL OPERATION | | | | | | 보통수수술 NORMAL OPERATION | | 특수치료실 | SPECIAL TREATMENT | | | | 회복실 ICU, CCU RECOVERY ROOM | | | | 신생아실 NECNATAL ROOM | | | | 임상검사 CLINC INSPECTION | | 약제실 MECNCINE ROOM |
| 약
품 | | 무균제제
CRTICAL AREA | CONTRAOLLED AREA | | 무균동물 PATHOGEN FREE ANIMAL | | | | | SPF ANIMAL | SPF 동물 | | | 항생물질 ANTIBIOTIC | | | 보통약품 NORMAL MEDICNES | | | | | 주약공정 |
| 식
품 | | | | 양조. 발효 BREW FERMANTATION | | | 유제품 DAIRY PRODUCTS | | 식육가공 FOOD PROCESSING | | | | 반축 제품 PASTE |
| 농
림
.
축
산 | | | 버섯재배 MUSH ROOM | | 성장점 배야 ARTIVICAL CULTRURE | | | | | | 양식 PASING |
| | | 유해균실험 EXPERIMENTING PATHOGEN | | | | 유전자공학 GENTIC ENGNEERING | | | 종양 VIRUS TUMOR VIRUS | |
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| 양압식 청정환경 | | 음압식 청정환경 | | POSITIVE PRESSURE CLEAN ROOM | MEGATIME PRESSURE CLEANROOM |
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