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 | 1.INLET VANE(흡입구)의 동시 사용시 : 기준 400~500M² /HR
2.INLET VALVE의 설치 위치는 청소용 HOSE (10M)로 청소 가능한 범위로 한다.
3.배관의 경로와 SIZE
* 주관의 위치는 가능한 청소역 중심을 통하고 지관이 주위에 균등하게 닿을 것
* 배관 용량 : INLET VALVE의 동시사용이
- 1개소의 경우 : 50A
- 2개소인 경우 : 65A
- 3개소인 경우 : 80A
- 4~5개소인 경우 : 100A
- 6~7개소인 경우 : 125A-
- 8~12개소인 경우 : 150A
4.기동방식 : 자동 START-UP 및 FAN의 순차제어 기동
5. DUST 반송에 필요한 최소 관내 유속을 유지한다.
6.CV 전용 배관재를 사용하여 안전성, 시공성, FLEXIBILIT, 운전비의 절감을 도모한다. |
 | 항목 | 건식 CYCLONE 방 식 | 습식 CYCLONE 방식 | | 건조한 분진의 집진 | ○ | 동등 | ○ | 동등 | | 수분을 부착한 분진의 집진 | Ⅹ | FILTER가 막힐 우려 | ○ | 비상시 어느 정도 물을 흡입 할수 있음 | | 설치 SPACE | ○ | 소 | Ⅹ | 건식의 약 1.5배 | 급배수
| ○ | 불필요 |
Ⅹ
| 급수 및 배수 처리 필요 | | 약액의 흡입 | Ⅹ | 불가 | Ⅹ | 약액을 혼합하면 위험 | | INITIAL COST | ○ | 약간적음 | Ⅹ | 5~15% 높다 | | RUNNING COST | ○ | 불가 | ○ | 약간 높음 | 적용가능한
청소방법 | 바닥을 수세한 후의
소제기 사용 | Ⅹ | 바닥면이 건조한 상태이면 사용가능 | ○ | 바닥을 물청소하는 청소방법은 2중 바닥에는 쓰이지 않는다.
바닥을 물청소하면 실내 습도제어에 영향을 미침 | 바닥을 물빼기 한후의
소제기 사용 | △ | 많음 | ○ | 물빼기 직후에도 사용 | | 반도체 공장에서의 실적 | ○ | | △ | 적음 | | 반도체 공장에서의 실적 | 종합적으로 건식 CYCLONE 방식이 유리하다단, 비상 물빼기에 의한 청소를 할 경우에는 청소작업의 능률면에서 습식이 유리함. |
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 | 1. 청소대상 : CLEAN ROOM 및 전실 (RETURN PLENUM 포함)
2. INLET VALVE의 동시사용수 : 5개소(inlet VALVE 2.0 CMM 정도 흡인했을 때)
3. 압력조정 VALVE : MAIN관내의 압력을 검지해서 최소 관내 유속을 유지하도록 자동 개폐한다.
4. BACK UP : 초기투자비 및 운전현황을 고려 BLOWER는 1대 설치하고 PILOT BLOWER는 설치하지 않는다.
5. 중앙감시 : BLOWER 운전표시 FILTER 차압 경보 배관내 압력
6. 진동대책 : BLOWER에서 발생하는 진동을 방지하기 위하여 BLOWER에는 방진가대를 설치한다.
7. 소음대책 압력조절 VALVE의 전과 BLOWER 토출측에 SILENCER를 부착한다.
8. 주요기기 사항
1) BLOWER : RHDKQ turbo FAN
2) BAG FILTER : WLQWLSGYDBF: AFI>98% (W/CYCLONE DUST SEPARATOR)
3) SILENCER : GLASS WOOL 부착
9. ACCESSARY : INLET VALVE, HOSE, ROUND BRUSH, FLOOR BRUSH ETC
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