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1. 진공, 증착 장치 2. SPUTTER 장치 3. CVD 장치 4. PLASMA ETCHING 5. ION PLATING 6. ION 투입 장치
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진공영역 | 진공도 범위 | 적용되는 공정 | 진공펌프의 기종 | 저진공
LOW
VACUUM | 대기압 ~ 1Tort | 진공흡착 이송
인쇄기 농축 반응기
분말 충진
진공 성형
진공 포장 | 건식 로타리 베인 펌프
급유식 로나리 베인 펌프
수봉식 펌프
스팀 이젝타 | 중진공
FINE
VACUUM | 1Torr ~ 10³Torr | 진공 건조
탈기 장치
진공 함침
진공 증류
진공 청소 | 다단식 로터리 베인 펌프
다단식 스팀 이젝타
루츠 펌프
피스톤 펌프
확산 펌프 | 고진공
HIGH
VACUUM | 10³Torr ~ 107Torr | 진공 코팅
진공 동결 건조
진공 합금
신소재 합금 | 확산 펌프
터보 분자 펌프
흡착 펌프
저온 냉각 펌프
승화 펌프 | 초고진공
ULTRA HIGH
VACUUM | 107Torr 이하 | 원자핵 연구장치
전자현미경
Plasma 발생기
물리 실험 장치 | 터보 분자 펌프
저온 냉각 펌프
흡착 펌프 |
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1. 수용식 : 시수로 한다.
2. 수질 관리 : 봉수 온도가 20℃를 넘으면 진공압력이 부족하게 되므로 20℃보다 낮은 수온 제어 SYSTEM으로 한다.
(SYSTEM상 공급온도 : 15℃)SEAL WATER는 GAS의 혼입에 의해 수질악화가 우려 되므로
MAUAL로 BLOW DOWN 시킨다.
3. 냉각수 : LOW TEMP CHILLED WATER
4. ENERGY 절약 : 진공 PUMP를 최대부하에 대해 복수 설치해서 대수제어한다.
5. BACK UP 진공 PUMP 1대는 BACK UP 으로 설치한다.
6. VACUUM TANK : TANK CAPACITY는 배관 전용적, 허용압력변동, 전배기량에 의해 산정
7. 진공대책 : 진공 PUMP에서 발생하는 진동을 방지하기 위해 진공 PUMP의 방진가대를 설치한다.
8. 중앙감시: 진공 PUMP 운전표시 / 진공도 표시
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1. 진공 PUMP : 수봉식 SEAL WATER 순환식 / 도달진공도 : 700mmHg (V)
2. VACUUM TANK : SS41 + 내면 EPOXY COATING
3. 열교환기 : PLATE TYPE, SUS 304 W/1NSULATION
4. SEALING WATER TANK: FLAT TYPE 304
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1. 배기용량의 변경 : 배기용량 및 MAIN, SUB-MAIN관은 여유를 본 용량으로 한다.
2. 생산 기기의 위치 변경생산기기의 위치 변경에 따른 배관 변경을 최소화하기 dnogo main,
SUB-MAIN관은 가능하면 각 AREA의 중앙부를 통과하며 SPARE NOZZLE을 확보한다.
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