|  |  | 냉각방식 | 장점 | 단점 | 선정 | 공냉식 | 1.FIN을 붙여서 자연 방열할 경우 실내의 공조 ZONE에서 처리되기 때문에 장치냉각 설비가 필요하게 된다. | 1.자연방열의경우 발열체의 위치,구조,발열량에 의해 제약 받는다
2.냉각 FAN을 이용할 경우 FAN에서의 먼지가 확산되고 장치에서의 열도 실내로 방열되기 때문에 열배기 설비도 필요하다.
3.FAN에서의 실내로 배기시킬 경우 신선공기를 도입하기 때문에 공조COST가 더 든다.
4.장치 냉각 부분의 온도 제어가 어렵다. 냉각공기의 온도에 좌우되기 쉽다 | | 수냉식 | 1.공냉식에 비해 냉각 효율이 높다 (비열이 크다)
2.공조 RUNNING COST 증가와 무관하게 열을 외부로 도피 할 수 있다.
3.장치내의 온도가 안정적이다 | 1.냉각수 배관, 순환PUMP, 냉각원 및 열교환기 등이 필요하고 수온수량, 수질 등의 조정이 필요하다.
2.PUMP의 진동, 맥동이 배관이나 물을 통해 전달되기 쉽고 방진대책이 필요하다.
3.누수의 위험성이 있기 때문에 대책을 미리 고려해 둘 필요가 있다. | ◎ | 냉매식 | 1.GAS에 의해 행해지기 때문에 순환에 필요한 반송동력이 절약된다.
2.HEAT PIPE를 겸용하면 COMPRESSOR등의 동력이 불필요하고 진동은 전혀 없다 | 1.저온이기 때문에 배관의 보온이 필요하고 배관 SPACE도 필요하다수량,수질 등의 조정이 필요하다.
2.GAS를 사용하기 때문에 만약 실내에서 누출이 생기면 실내 공기가 오염될 수 있다. | |
|  | 1. 냉각수 배관에서 진동원이 되지 않도록 가능하면 유속을 DOWN시켜 저속으로 흐르게 한다.
2. 장치중의 열교환기 부분은 저항을 작게 한다.
3. 냉각수는 오염 방지를 고려해서 순수로 보급하고 전도도를 모니터링하여 수질을 관리한다.
4. 진동대책 : 방진 HANGER, 진동개수, spring PAD, PUMP용 방진가대를 쓴다
5. 생산기기의 요구 수압, 수온, 수질에 따라 계통 구분한다.
(ENERGY 절약 및 배관의
단순화를 고려 층별 구분 및 온도별 구분을 한다)
6. 연속운전이 가능한 설비로 한다.
7. 배관설계: 압력변동이 작은 배관계로 한다.LAY OUT 변경에 대응 가능 할 것.
8. 증설고려: 추후 증설을 감안한 용량으로 설계
|  | 1. REQUIRED 유량 : by OWNER’S REQUIREMENT
2. REQUIRED 온도 : 11°C, 18°C
3. REQUIRED 압력 : 4.0 KG/CM² (일부 장비는 6.5KG/ CM² 까지 요구)
4. REQUIRED 비저항 : 0.2 ~ 0.5 MΩCM
* PCW 계통 : all UPS 전원 공급
|  | 1. 수질유지관리 : 보급수는 UF CON’C WATER를 사용하고 수질관리를 위해 RESISTIVITY CHECK 및
정기적인 BLOW DOWN을 실시한다
2. 배압 : 개방식이므로 배압이 걸리지 않는다.
3. BACK UP : 냉각수 순환 PUMP, 보급수 PUMP는 STAND BY를 고려한다.
4. 중앙감시 : 냉각수온 (INLET, OUTLET)표시* 냉각수 순환 PUMP 운전표시* 보급수 PUMP 운전표시
|  | 1. 냉각수 PUMP : SUS 304, 방진가대부착MECHANICALl SEAL TYPE
2. 열교환기 : SUS 304, PLATE TYPE W/INSULATION
3. WATER FILTER : CATRIDGE TYPESUS 304, 효율 99% 이상 (10um)
4. PCW TANK : SUS 304, OR FRP
|  | 비교사항 | 밀폐회로 | 개방회로 | 비교사항 | 요구배압의만족 | × | ○ | 생산기기 중에는 배압이 걸리면 TUBE가 벗겨지는등 TROUBLE을 일으킬 수 있다 | 보유수량 | ○ | ◎ | 보유수량이 많으면 일차 냉각수가 정지한 비상시에 축열에 의해 다소 부하를 경감할 수 있다. | 수질의 유지 | ◎ | ○ | 개방회로에서는 수질 유지를 위해 별도의 관리가 필요하게 된다. | 설치 SPACE | ◎ | ○ | 개방회로에서는 배관내 보유수량 이상의 용적을 가진 TANK가 필요하다 |
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